Ilana ti a bo evaporation igbale
1, Equipment ati ti ara ilana ti igbale evaporation ti a bo
Awọn ohun elo ti a bo evaporation igbale jẹ nipataki ti iyẹwu igbale ati eto sisilo.Inu awọn igbale iyẹwu, nibẹ ni o wa evaporation orisun (ie evaporation ti ngbona), sobusitireti ati fireemu sobusitireti, sobusitireti ti ngbona, eefi eto, ati be be lo.
Awọn ohun elo ti a bo ni a gbe sinu orisun evaporation ti iyẹwu igbale, ati labẹ awọn ipo igbale giga, o jẹ kikan nipasẹ orisun evaporation lati yọ kuro.Nigbati iwọn apapọ ọfẹ ti awọn ohun alumọni oru jẹ tobi ju iwọn laini ti iyẹwu igbale, lẹhin ti awọn ọta ati awọn moleku ti oru fiimu ti yọ kuro ni oju ti orisun evaporation, ko ni idiwọ nipasẹ ikọlu ti awọn ohun elo miiran tabi awọn ọta, ati ki o taara de awọn dada ti awọn sobusitireti lati wa ni ti a bo.Nitori iwọn otutu kekere ti sobusitireti, awọn patikulu oru fiimu jẹ ki o ṣe fiimu kan.
Lati le ni ilọsiwaju imudara ti awọn ohun elo evaporation ati sobusitireti, sobusitireti le muu ṣiṣẹ nipasẹ alapapo to dara tabi mimọ ion.Ibora imukuro igbale lọ nipasẹ awọn ilana ti ara atẹle lati evaporation ohun elo, gbigbe si ifisilẹ sinu fiimu kan.
(1) Lilo awọn ọna oriṣiriṣi lati yi awọn ọna agbara miiran pada si agbara igbona, ohun elo fiimu jẹ kikan lati yọ kuro tabi sublimate sinu awọn patikulu gaseous (awọn ohun elo, awọn ohun elo tabi awọn iṣupọ atomiki) pẹlu iye kan ti agbara (0.1 si 0.3 eV).
(2) Awọn patikulu gaseous lọ kuro ni oju fiimu naa ati gbe lọ si oju ti sobusitireti ni iyara išipopada kan, pataki laisi ijamba, ni laini taara.
(3) Awọn patikulu gaseous ti de oke ti sobusitireti coalesce ati nukleate, ati lẹhinna dagba sinu fiimu ti o lagbara-alakoso.
(4) Atunto tabi imora kemikali ti awọn ọta ti o ṣe fiimu naa.
2, Alapapo evaporation
(1) Resistance alapapo evaporation
Imudanu alapapo resistance jẹ ọna alapapo ti o rọrun julọ ati lilo pupọ julọ, gbogbogbo wulo fun awọn ohun elo ti a bo pẹlu aaye yo ni isalẹ 1500 ℃, awọn irin aaye yo giga ni okun waya tabi apẹrẹ dì (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, bbl) jẹ nigbagbogbo ṣe apẹrẹ ti o dara ti orisun evaporation, ti kojọpọ pẹlu awọn ohun elo evaporation, nipasẹ ooru Joule ti itanna lọwọlọwọ lati yo, yọ kuro tabi sublimate ohun elo plating, apẹrẹ ti orisun evaporation ni akọkọ pẹlu ajija okun-pupọ, U-sókè, igbi ese. , Awo tinrin, ọkọ oju omi, agbọn konu, bbl Ni akoko kanna, ọna naa nilo ohun elo orisun evaporation lati ni aaye yo ti o ga, titẹ iyọkuro saturation kekere, awọn ohun-ini kemikali iduroṣinṣin, ko ni esi kemikali pẹlu ohun elo ti a bo ni iwọn otutu giga, resistance ooru ti o dara, iyipada kekere ni iwuwo agbara, bbl O gba lọwọlọwọ giga nipasẹ orisun evaporation lati jẹ ki o gbona ati ki o yọ ohun elo fiimu kuro nipasẹ alapapo taara, tabi fi ohun elo fiimu sinu crucible ti a ṣe ti graphite ati awọn sooro iwọn otutu giga kan. irin oxides (gẹgẹ bi awọn A202, B0) ati awọn ohun elo miiran fun alapapo aiṣe-taara lati evaporate.
Resistance alapapo evaporation ti a bo ni o ni awọn idiwọn: refractory awọn irin ni kekere oru titẹ, eyi ti o jẹ soro lati ṣe tinrin fiimu;diẹ ninu awọn eroja jẹ rọrun lati ṣẹda alloy pẹlu okun waya alapapo;ko rọrun lati gba akojọpọ aṣọ kan ti fiimu alloy.Nitori eto ti o rọrun, idiyele kekere ati iṣẹ irọrun ti ọna gbigbe igbona alapapo resistance, o jẹ ohun elo ti o wọpọ pupọ ti ọna evaporation.
(2) Electron tan ina alapapo evaporation
Itọpa ina ina elekitironi jẹ ọna ti sisọ awọn ohun elo ti a bo nipa fifi bombarding pẹlu itanna iwuwo elekitironi ti o ni agbara giga nipasẹ gbigbe si inu ibi idẹ ti omi tutu.Orisun evaporation ni orisun itujade elekitironi, orisun agbara isare elekitironi, crucible kan (nigbagbogbo kan crucible bàbà) , okun aaye oofa, ati ṣeto omi itutu agbaiye, bbl Ninu ẹrọ yii, ohun elo ti o gbona ni a gbe sinu omi kan. -cooled crucible, ati awọn elekitironi tan ina bombards nikan kan gan kekere ìka ti awọn ohun elo, nigba ti julọ ninu awọn ti o ku ohun elo si maa wa ni kan gan kekere otutu labẹ awọn itutu ipa ti awọn crucible, eyi ti o le wa ni bi awọn bombarded ìka ti awọn crucible.Nitorinaa, ọna ti alapapo elekitironi fun evaporation le yago fun idoti laarin ohun elo ti a bo ati ohun elo orisun evaporation.
Ilana ti orisun evaporation elekitironi le pin si awọn oriṣi mẹta: awọn ibon taara (awọn ibon Boules) , awọn ibon oruka (ti ina mọnamọna) ati awọn ibon e-ibon (ti a fi agbara mu) .Ọkan tabi diẹ ẹ sii crucibles le wa ni gbe ni ohun evaporation apo, eyi ti o le evaporate ki o si fi ọpọlọpọ awọn oriṣiriṣi awọn oludoti nigbakanna tabi lọtọ.
Awọn orisun evaporation tan ina elekitironi ni awọn anfani wọnyi.
① Iwọn iwuwo giga ti itanna tan ina bombardment evaporation orisun le gba iwuwo agbara ti o tobi pupọ ju orisun alapapo resistance, eyiti o le yọkuro awọn ohun elo aaye yo giga, bii W, Mo, Al2O3, ati bẹbẹ lọ.
② Awọn ohun elo ti a fi npa ni a fi sinu omi ti a fi omi ṣan omi, eyi ti o le yago fun imukuro ti awọn ohun elo orisun evaporation, ati ifarahan laarin wọn.
③ Ooru le ṣe afikun taara si dada ti ohun elo ti a bo, eyiti o jẹ ki iṣẹ ṣiṣe gbona ga ati isonu ti itọsi ooru ati itankalẹ ooru kekere.
Awọn daradara ti awọn elekitironi tan ina alapapo evaporation ọna ni wipe awọn jc elekitironi lati elekitironi ibon ati awọn Atẹle elekitironi lati dada ti awọn ohun elo ti a bo yoo ionize awọn evaporating awọn ọta ati péye gaasi moleku, eyi ti yoo ni ipa lori awọn didara ti awọn fiimu ma.
(3) Imudaniloju alapapo igba otutu ti o ga julọ
Imudara alapapo igba otutu ti o ga julọ ni lati gbe crucible pẹlu ohun elo ti a bo ni aarin ti okun ajija igbohunsafẹfẹ giga-giga, nitorinaa ohun elo ti a bo naa ṣe agbekalẹ lọwọlọwọ eddy ti o lagbara ati ipa hysteresis labẹ ifakalẹ ti aaye itanna igbohunsafẹfẹ-giga, eyiti o fa fiimu Layer lati ooru soke titi ti o vaporizes ati evaporates.Orisun evaporation ni gbogbogbo ni okun-igbohunsafẹfẹ giga ti omi tutu ati graphite tabi seramiki (oxide magnẹsia, oxide aluminiomu, boron oxide, ati bẹbẹ lọ) crucible.Ipese agbara igbohunsafẹfẹ giga nlo igbohunsafẹfẹ ti ẹgbẹrun mẹwa si ọpọlọpọ awọn ọgọrun ẹgbẹrun Hz, agbara titẹ sii jẹ ọpọlọpọ si ọpọlọpọ awọn kilowatts, iwọn kekere ti ohun elo awo awọ, ti o ga julọ igbohunsafẹfẹ fifa irọbi.Igbohunsafẹfẹ okun igbohunsafẹfẹ jẹ igbagbogbo ti ọpọn bàbà tutu omi.
Aila-nfani ti ọna evaporation alapapo fifa irọbi giga-igbohunsafẹfẹ ni pe ko rọrun lati ṣatunṣe itanran agbara titẹ sii, o ni awọn anfani wọnyi.
① Iwọn evaporation ti o ga
②Iwọn otutu ti orisun evaporation jẹ aṣọ ati iduroṣinṣin, nitorinaa ko rọrun lati gbejade lasan ti awọn isunmi ti a bo, ati pe o tun le yago fun iṣẹlẹ ti awọn pinholes lori fiimu ti a fi silẹ.
③ Orisun evaporation ti kojọpọ lẹẹkan, ati pe iwọn otutu jẹ irọrun jo ati rọrun lati ṣakoso.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-28-2022