Ion ti a bo imo

Ẹya akọkọ ti ọna evaporation igbale fun fifipamọ awọn fiimu jẹ oṣuwọn ifisilẹ giga.Ẹya akọkọ ti ọna sputtering ni ọpọlọpọ awọn ohun elo fiimu ti o wa ati iṣọkan ti o dara julọ ti Layer fiimu, ṣugbọn oṣuwọn idasile jẹ kekere.Ion ti a bo ni a ọna ti o daapọ wọnyi meji lakọkọ.

Ion ti a bo opo ati film Ibiyi awọn ipo
Ilana iṣẹ ti ion ti a bo ti han ni Pic.Iyẹwu igbale ti wa ni fifa si titẹ ni isalẹ 10-4 Pa, ati lẹhinna kun pẹlu gaasi inert (fun apẹẹrẹ argon) si titẹ ti 0.1 ~ 1 Pa. Lẹhin ti odi DC foliteji ti o to 5 kV ti wa ni lilo si sobusitireti, a Iwọn gaasi didan didan kekere agbegbe pilasima ti wa ni idasilẹ laarin sobusitireti ati crucible.Awọn ions inert gaasi ti wa ni onikiakia nipasẹ awọn ina oko ati ki o bombard awọn dada ti awọn sobusitireti, bayi nu dada ti awọn workpiece.Lẹhin ilana mimọ yii ti pari, ilana ti a bo naa bẹrẹ pẹlu vaporization ti ohun elo lati wa ni bo ninu crucible.Awọn patikulu vaporized vaporized wọ inu agbegbe pilasima ati ki o kọlu pẹlu awọn ions rere inert ti o ya sọtọ ati awọn elekitironi, ati diẹ ninu awọn patikulu oru ti ya sọtọ ati bombard iṣẹ-iṣẹ ati dada ti a bo labẹ isare ti aaye ina.Ninu ilana ion ion, kii ṣe ifisilẹ nikan ṣugbọn tun sputtering ti awọn ions rere lori sobusitireti, nitorinaa fiimu tinrin le ṣe agbekalẹ nikan nigbati ipa ifisilẹ ba tobi ju ipa sputtering.

Ilana ti a bo ion, ninu eyiti sobusitireti ti wa ni bombard nigbagbogbo pẹlu awọn ions agbara-giga, jẹ mimọ pupọ ati pe o ni awọn anfani pupọ ni akawe si sputtering ati ibora evaporation.

(1) Adhesion ti o lagbara, Layer ti a bo ko ni yọ kuro ni irọrun.
(a) Ninu ilana ti a bo ion, nọmba nla ti awọn patikulu agbara-giga ti ipilẹṣẹ nipasẹ itusilẹ didan ni a lo lati ṣe agbejade ipa sputtering cathodic lori dada ti sobusitireti, sputtering ati mimọ gaasi ati epo adsorbed lori dada ti sobusitireti lati wẹ awọn sobusitireti dada titi ti gbogbo ti a bo ilana ti wa ni ti pari.
(b) Ni ipele ibẹrẹ ti ibora, sputtering ati ifisilẹ ibagbepo, eyiti o le ṣe agbekalẹ iyipada ti awọn paati ni wiwo ti ipilẹ fiimu tabi adalu ohun elo fiimu ati ohun elo ipilẹ, ti a pe ni “Pseudo-diffusion Layer”, eyi ti o le mu imunadoko iṣẹ ṣiṣe ti fiimu naa dara.
(2) Awọn ohun-ini ipari-ni ayika ti o dara.Idi kan ni pe awọn ọta ohun elo ti a bo ti wa ni ionized labẹ titẹ giga ati kọlu pẹlu awọn ohun elo gaasi ni ọpọlọpọ igba lakoko ilana ti de sobusitireti, ki awọn ions ohun elo ti a bo le tuka ni ayika sobusitireti.Ni afikun, awọn ọta ohun elo ti a bo ionized ti wa ni ipamọ lori dada ti sobusitireti labẹ iṣẹ ti aaye ina, nitorinaa gbogbo sobusitireti ti wa ni ifipamọ pẹlu fiimu tinrin, ṣugbọn ibora evaporation ko le ṣaṣeyọri ipa yii.
(3) Didara giga ti ibora jẹ nitori sputtering ti awọn condensates ti o ṣẹlẹ nipasẹ bombu igbagbogbo ti fiimu ti a fi silẹ pẹlu awọn ions rere, eyiti o mu iwuwo ti Layer ti a bo.
(4) Aṣayan nla ti awọn ohun elo ti a bo ati awọn sobusitireti le jẹ ti a bo lori awọn ohun elo ti fadaka tabi ti kii ṣe irin.
(5) Ti a fiwera si ifisilẹ ikemi-oru (CVD), o ni iwọn otutu sobusitireti kekere, ni deede ni isalẹ 500°C, ṣugbọn agbara ifaramọ rẹ jẹ afiwera ni kikun si awọn fiimu ifisilẹ eeru kẹmika.
(6) Oṣuwọn fifisilẹ giga, iṣelọpọ fiimu yara, ati pe o le bo sisanra ti awọn fiimu lati mewa ti awọn nanometers si microns.

Awọn aila-nfani ti ion ti a bo ni: sisanra ti fiimu naa ko le ṣe iṣakoso ni deede;ifọkansi ti awọn abawọn jẹ giga nigbati a ba nilo ibori ti o dara;ati awọn gaasi yoo wọ inu oju nigba ti a bo, eyi ti yoo yi awọn ohun-ini dada pada.Ni awọn igba miiran, awọn cavities ati awọn ekuro (kere ju 1 nm) tun ti ṣẹda.

Bi fun oṣuwọn ifisilẹ, ibora ion jẹ afiwera si ọna evaporation.Bi fun didara fiimu, awọn fiimu ti a ṣe nipasẹ ion ti a bo wa ni isunmọ tabi dara ju awọn ti a pese sile nipasẹ sputtering.