Awọn ohun-ini pilasima
Iseda pilasima ni pilasima-imudara oru ikemi ni pe o gbarale agbara kainetik ti awọn elekitironi ninu pilasima lati mu awọn aati kemikali ṣiṣẹ ni ipele gaasi.Niwọn igba ti pilasima jẹ akojọpọ awọn ions, awọn elekitironi, awọn ọta didoju ati awọn ohun elo, o jẹ didoju itanna ni ipele macroscopic.Ninu pilasima, iye nla ti agbara ti wa ni ipamọ ninu agbara inu ti pilasima naa.Pilasima ti pin si pilasima ti o gbona ati pilasima tutu.ninu eto PECVD o jẹ pilasima tutu eyiti o ṣẹda nipasẹ isunjade gaasi titẹ kekere.Pilasima yii ti a ṣejade nipasẹ itusilẹ titẹ kekere ni isalẹ awọn ọgọrun Pa jẹ pilasima gaasi ti kii ṣe iwọntunwọnsi.
Iseda ti pilasima yii jẹ bi atẹle:
(1) Iṣipopada igbona alaibamu ti awọn elekitironi ati awọn ions ti kọja išipopada itọsọna wọn.
(2) Ilana ionization rẹ jẹ pataki nipasẹ ijamba ti awọn elekitironi ti o yara pẹlu awọn ohun elo gaasi.
(3) Apapọ agbara iṣipopada igbona ti awọn elekitironi jẹ awọn aṣẹ titobi 1 si 2 ti o ga ju ti awọn patikulu wuwo, gẹgẹbi awọn moleku, awọn ọta, awọn ions ati awọn ipilẹṣẹ ọfẹ.
(4) Ipadanu agbara lẹhin ijamba ti awọn elekitironi ati awọn patikulu eru le jẹ isanpada lati aaye ina laarin awọn ijamba.
O nira lati ṣe apejuwe pilasima ti ko ni iwọn otutu kekere pẹlu nọmba kekere ti awọn aye, nitori pe o jẹ pilasima ti ko ni iwọn otutu kekere ninu eto PECVD, nibiti iwọn otutu elekitironi Te ko jẹ kanna bi iwọn otutu Tj ti awọn patikulu eru.Ninu imọ-ẹrọ PECVD, iṣẹ akọkọ ti pilasima ni lati ṣe agbejade awọn ions ti nṣiṣe lọwọ kemikali ati awọn ipilẹṣẹ ọfẹ.Awọn ions wọnyi ati awọn ipilẹṣẹ ọfẹ fesi pẹlu awọn ions miiran, awọn ọta ati awọn ohun amorindun ni ipele gaasi tabi fa ibajẹ latissi ati awọn aati kemikali lori dada sobusitireti, ati ikore ohun elo ti nṣiṣe lọwọ jẹ iṣẹ ti iwuwo elekitironi, ifọkansi ifọkansi ati olusọdipúpọ ikore.Ni awọn ọrọ miiran, ikore ti awọn ohun elo ti nṣiṣe lọwọ da lori agbara aaye ina, titẹ gaasi, ati iwọn apapọ ọfẹ ti awọn patikulu ni akoko ijamba.Bi gaasi reactant ninu pilasima dissociates nitori awọn ijamba ti ga-agbara elekitironi, awọn ibere ise idankan ti awọn kemikali le ti wa ni bori ati awọn iwọn otutu ti awọn reactant gaasi le dinku.Iyatọ akọkọ laarin PECVD ati CVD ti aṣa ni pe awọn ilana thermodynamic ti iṣesi kemikali yatọ.Iyapa ti awọn ohun elo gaasi ni pilasima jẹ ti kii ṣe yiyan, nitorinaa Layer fiimu ti a fi silẹ nipasẹ PECVD yatọ patapata si CVD ti aṣa.Akopọ alakoso ti a ṣe nipasẹ PECVD le jẹ alailẹgbẹ ti kii ṣe iwọntunwọnsi, ati pe iṣeto rẹ ko ni opin mọ nipasẹ awọn kinetics iwọntunwọnsi.Layer fiimu aṣoju julọ jẹ ipo amorphous.
PECVD awọn ẹya ara ẹrọ
(1) Awọn iwọn otutu ifisilẹ kekere.
(2) Din aapọn inu inu ti o ṣẹlẹ nipasẹ aiṣedeede ti ilodisi imugboroja laini ti awo ilu / ohun elo ipilẹ.
(3) Oṣuwọn iṣipopada jẹ iwọn ti o ga julọ, paapaa ifisilẹ iwọn otutu kekere, eyiti o jẹ anfani lati gba amorphous ati awọn fiimu microcrystalline.
Nitori ilana iwọn otutu kekere ti PECVD, ibajẹ igbona le dinku, pipinka ati ifa laarin fiimu fiimu ati ohun elo sobusitireti le dinku, ati bẹbẹ lọ, ki awọn paati itanna le jẹ ti a bo mejeeji ṣaaju ṣiṣe wọn tabi nitori iwulo. fun atunṣeto.Fun iṣelọpọ ti awọn iyika iṣọpọ iwọn ultra-nla (VLSI, ULSI), imọ-ẹrọ PECVD ni aṣeyọri ti a lo si dida fiimu ohun alumọni nitride (SiN) bi fiimu aabo ikẹhin lẹhin dida ti wiwọ elekiturodu Al, bi daradara bi fifẹ ati awọn Ibiyi ti fiimu ohun elo afẹfẹ silikoni bi idabobo interlayer.Gẹgẹbi awọn ẹrọ fiimu tinrin, imọ-ẹrọ PECVD tun ti lo ni aṣeyọri si iṣelọpọ awọn transistors fiimu tinrin (TFTs) fun awọn ifihan LCD, ati bẹbẹ lọ, ni lilo gilasi bi sobusitireti ni ọna matrix ti nṣiṣe lọwọ.Pẹlu idagbasoke ti awọn iyika iṣọpọ si iwọn nla ati isọpọ giga ati lilo jakejado ti awọn ẹrọ semikondokito agbo, PECVD nilo lati ṣe ni iwọn otutu kekere ati awọn ilana agbara elekitironi giga.Lati pade ibeere yii, awọn imọ-ẹrọ ti o le ṣepọ awọn fiimu alapin ti o ga julọ ni awọn iwọn otutu kekere ni lati ni idagbasoke.Awọn fiimu SiN ati SiOx ti ni ikẹkọ lọpọlọpọ nipa lilo pilasima ECR ati imọ-ẹrọ tuntun pilasima vapor vapor (PCVD) pẹlu pilasima helical, ati pe o ti de ipele ti o wulo ni lilo awọn fiimu idabobo interlayer fun awọn iyika iṣọpọ titobi nla, ati bẹbẹ lọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-08-2022