Sputtering ti a bo imo

1, Awọn ẹya ara ẹrọ ti sputter ti a bo
Ti a ṣe afiwe pẹlu ibora evaporation igbale igbale, ibora sputtering ni awọn ẹya wọnyi:
(1) Eyikeyi nkan le ti wa ni sputtered, paapa ga yo ojuami, kekere oru titẹ eroja ati agbo.Niwọn igba ti o jẹ ohun ti o lagbara, boya o jẹ irin, semikondokito, insulator, yellow ati mix, ati bẹbẹ lọ, boya o jẹ bulọọki, ohun elo granular le ṣee lo bi ohun elo ibi-afẹde.Niwọn bi jijẹ kekere ati ida ti nwaye nigbati awọn ohun elo idabobo ti n tu ati awọn alloy gẹgẹbi awọn oxides, wọn le ṣee lo lati mura awọn fiimu tinrin ati awọn fiimu alloy pẹlu awọn paati aṣọ ti o jọra ti awọn ohun elo ibi-afẹde, ati paapaa awọn fiimu ti o ni agbara pẹlu awọn akopọ eka.” Ni afikun, ọna sputtering ifaseyin tun le ṣee lo lati gbe awọn fiimu ti awọn agbo ogun ti o yatọ patapata si awọn ohun elo ibi-afẹde, gẹgẹbi awọn oxides, nitrides, carbides ati silicides.
(2) Adhesion ti o dara laarin fiimu sputtered ati sobusitireti.Niwọn igba ti agbara ti awọn ọta sputtered jẹ awọn aṣẹ 1-2 ti titobi ti o ga ju ti awọn ọta evaporated, iyipada agbara ti awọn patikulu agbara-giga ti o wa sori sobusitireti n ṣe agbara agbara gbona ti o ga julọ, eyiti o mu ifaramọ ti awọn ọta sputtered si sobusitireti.Apa kan ti awọn ọta ti o ni agbara-giga yoo jẹ itasi si awọn iwọn oriṣiriṣi, ti o ṣẹda ohun ti a pe ni pseudo-diffusion Layer lori sobusitireti nibiti awọn ọta sputtered ati awọn ọta ti ohun elo sobusitireti “miscible” pẹlu ara wọn.Ni afikun, lakoko bombardment ti awọn patikulu sputtering, sobusitireti ti wa ni mimọ nigbagbogbo ati mu ṣiṣẹ ni agbegbe pilasima, eyiti o yọkuro awọn ọta ti o ni itara ti ko dara, sọ di mimọ ati mu dada sobusitireti ṣiṣẹ.Bi abajade, ifaramọ ti Layer fiimu sputtered si sobusitireti ti ni ilọsiwaju pupọ.
(3) Iwọn iwuwo giga ti wiwa sputter, awọn pinholes ti o kere ju, ati mimọ ti o ga julọ ti Layer fiimu nitori ko si ibajẹ crucible, eyiti ko ṣee ṣe ni ifisilẹ eefin igbale lakoko ilana ti a bo sputter.
(4) Iṣakoso ti o dara ati atunṣe ti sisanra fiimu.Niwọn igba ti ṣiṣan ṣiṣan ati lọwọlọwọ ti ibi-afẹde ni a le ṣakoso ni lọtọ lakoko ti a bo sputter, sisanra fiimu le jẹ iṣakoso nipasẹ ṣiṣakoso lọwọlọwọ ti ibi-afẹde, nitorinaa, iṣakoso ti sisanra fiimu ati isọdọtun ti sisanra fiimu nipasẹ ọpọ sputtering ti ibora sputter dara. , ati fiimu ti sisanra ti a ti pinnu tẹlẹ le jẹ ti a bo ni imunadoko.Ni afikun, ti a bo sputter le gba sisanra fiimu aṣọ kan lori agbegbe nla kan.Bibẹẹkọ, fun imọ-ẹrọ ti a bo sputter gbogbogbo (paapaa sputtering dipole), ohun elo jẹ idiju ati nilo ẹrọ titẹ giga;Iyara iṣelọpọ fiimu ti ifasilẹ sputter jẹ kekere, oṣuwọn ifasilẹ imukuro igbale jẹ 0.1 ~ 5nm / min, lakoko ti oṣuwọn sputtering jẹ 0.01 ~ 0.5nm / min;Iwọn otutu sobusitireti ga ati jẹ ipalara si gaasi aimọ, bbl Sibẹsibẹ, nitori idagbasoke RF sputtering ati imọ-ẹrọ sputtering magnetron, ilọsiwaju nla ni a ti gba ni iyọrisi fifisilẹ sputtering iyara ati idinku iwọn otutu sobusitireti.Pẹlupẹlu, ni awọn ọdun aipẹ, awọn ọna ti a bo sputter tuntun ti wa ni iwadii - ti o da lori sputtering magnetron planar - lati dinku titẹ afẹfẹ sputtering titi ti itọka-odo ni ibi ti titẹ ti gaasi gbigbemi lakoko sputtering yoo jẹ odo.