Ni gbogbogbo awọn aati CVD gbarale awọn iwọn otutu ti o ga, nitorinaa ti a npe ni itọsi itara kemikali ti o ni itara (TCVD).O ni gbogbo igba nlo awọn iṣaju inorganic ati pe a ṣe ni odi gbigbona ati awọn reactors odi tutu.Awọn ọna igbona rẹ pẹlu alapapo igbohunsafẹfẹ redio (RF), alapapo itanna infurarẹẹdi, alapapo resistance, ati bẹbẹ lọ.
Gbigbona oru kemikali odi
Lootọ, riakito ifasilẹ ikemika ti ogiri-gbona jẹ ileru igbona, nigbagbogbo kikan pẹlu awọn eroja atako, fun iṣelọpọ lainidii.Yiyaworan ile-iṣẹ iṣelọpọ ikemi-ogiri ti o gbona-gbona fun ohun elo ohun elo chirún ti han bi atẹle.Ifipamọ oru kẹmika ogiri gbona yii le wọ TiN, TiC, TiCN ati awọn fiimu tinrin miiran.Awọn riakito le ti wa ni apẹrẹ si tobi to ki o si mu kan ti o tobi nọmba ti irinše, ati awọn ipo le wa ni dari gan gbọgán fun iwadi oro.Pic 1 fihan ohun elo Layer epitaxial fun ohun alumọni doping ti iṣelọpọ ẹrọ semikondokito.Sobusitireti ninu ileru ni a gbe sinu itọsọna inaro lati dinku ibajẹ ti dada ifisilẹ nipasẹ awọn patikulu, ati mu ikojọpọ iṣelọpọ pọ si.Awọn olutọpa ogiri gbigbona fun iṣelọpọ semikondokito nigbagbogbo n ṣiṣẹ ni awọn igara kekere.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-08-2022